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2018年3月14-16日
上海新国际博览中心

张雪娜

张雪娜 博士
高级经理,应用材料

个人简介

张雪娜博士,德国马克斯·普朗克研究所物理学博士,斯坦福大学博士后。先后就职多家知名半导体企业,广泛从事器件研发及检测。现在职美国应用材料公司负责显示检测设备应用与开发,致力于帮助显示企业良率迅速提升。

摘要

精准与快速的线上检测与分析技术是大规模半导体制程中重要的一环,应用材料相信,借鉴同样的的技术理念用于日新月异的面板产业,是金属氧化物(IGZO)或低温多晶硅液晶显示器(LTPS-LCD)和柔性有机发光显示器(OLEDs)开发及生产不可或缺的应用。应用材料公司最新自主研发的EBR(eBeam Review)设备,提供新的方法,能有效缩减高精尖显示器生产厂商所需的产能爬坡过程,较传统方法更快达到量产阶段及获利,有效避免因良率异常造成的大量损失。

由于移动显示器生产的制程日趋复杂,更多、更细微的重大缺陷也将随之发生。应用材料公司开发的线上EBR技术可更好、更快的发现及判别显示器生产过程中造成缺陷的根源。

应用材料公司的EBR技术,结合最先进的扫描电子显微镜(SEM)技术和AKT面板阵列检测设备使用的真空平台,是一项速度最快、分辨率最高、对产品冲击最小的商用电子束技术。结合配置精密的工作台,可针对自动光学检测(AOI)设备提供的坐标快速定位缺陷和进行检测分析。

20多年来,应用材料公司在半导体行业的SEM线上检测分析技术积累了经验丰富,并不断持续创新。公司正将这些应用拓展至移动液晶显示器和有机发光显示器行业,致力于为客户提供更快、更好的分析缺陷根源服务。