董溯
江苏鲁汶仪器股份有限公司，副总经理

讲师简介 / Speaker Bio

-本科毕业于同济大学电信学院
-超过二十年微电子行业的从业经验，覆盖半导体设备，芯片设计，芯片基板，研发平台等全产业链
-曾任imec中国区负责人，十年中全面管理中国分公司的战略合作，公司运营，政府关系，孵化业务
-现任国产半导体设备公司鲁汶仪器营销副总经理，全面负责公司的市场，销售和客户支持工作

摘要 / Abstract

表面浮雕光栅是AR智能眼镜规模化量产的核心光学技术。近年来，碳化硅材质的大倾角斜光栅结构以其高折射率和大视场角等优点，成为高性能AR设备的首选技术方向。该类结构对加工的精度和一致性提出极高要求，需依托具备优异方向性控制能力的先进工艺实现；离子束铣削技术正逐渐成为该领域的主流制备方案。鲁汶仪器作为国内离子束技术的领导者，所研发的离子束铣削设备能够高效、精确地复现光栅倾斜结构，严格控制整片范围内槽形和斜角的一致性，为实现高良率、低成本量产提供关键支撑。该技术结合碳化硅材料的高折射率等特性，可批量制造出具有超大视场角、极致轻薄且光学性能均匀稳定的显示模组，为高性能AR眼镜的大规模普及提供可靠的解决方案。